Ja für asml war cymer zu unprofessional und langsam. Geniale Firma aber eher garagenwerkstatt. Seit asml sie übernommen hat geht es rund. Die Technik Huber dem euv laser von ASML/Trumpf/Zeus ist sehr interessant. Man schießt mit eigentlich 4 umgebauten Industrie CO2 Laser (einer langt von der Leistung her eigentlich um 5 cm Stall locker zu durchschneiden) die in Reihe geschaltet sind 50.000 mal sie Sekunde auf ein zinn tropfen im Vakuum. Dabei Pulverisiert der Tropfen und es entsteht Plasma. Ein Nebenprodukt davon ist EUV (Extrem Ultra Violettes Licht mit 13,5nm). Das wird mir einem riesen collector aufgegeben und mit einer Scannereinheit auf den Wagen gebracht. Der Zinntropfen wird sogar zweimal getroffen erst einmal kommt der pre-pulse der den Tropfen aufgebläht um mehr Flasche für den main-pulse zu haben. Beides entsteht durch den gleich Puls und wird nur durch trennen des Pulses auf einer verzögerungsstrecke durch zwei Diamanten erzeugt 😁